Для передачи размера единицы длины в диапазоне 100 мкм...1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин). Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.
