| Номер в госреестре | 98628-26 |
| Наименование СИ | Рефлектометр спектральный |
| Обозначение типа СИ | HMS01 |
| Изготовитель | Scientific Computing International (SCI) |
| Год регистрации | 2026 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Рефлектометр спектральный HMS01 (далее - рефлектометр) предназначен для бесконтактного измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых покрытий на пластинах диаметром до 200 мм.
Принцип действия рефлектометра основан на измерении спектров отражения при нормальном падении света на измеряемую пластину. Спектральный состав света, прошедшего через слои покрытий и отраженного от подложки, зависит от количества слоев, их толщины и оптических постоянных. С помощью программного обеспечения (далее - ПО) «FilmTek SE» анализируются измеренные спектры, сравнивая их с набором рассчитанных спектров отражения, до тех пор, пока отличие между спектрами не будет минимальным. Толщина покрытия расчетного спектра принимается за результат измерений.
Конструктивно рефлектометр состоит из оптического блока с оптоволоконным входом-выходом, соединенным с источником излучения и спектрометром, моторизованного стола для образцов с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z. Неотъемлемой частью рефлектометра является вычислительный модуль со специализированным ПО, а также роботизированная система загрузки пластин. Рефлектометр снабжен осветителем области измерения объекта и видеокамерой для наблюдения области измерений.
К данному типу средств измерений относится рефлектометр спектральный HMS01 с заводским номером 9500294522.
Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, нанесен методом цифровой лазерной печати на шильдик, наклеенный на заднюю панель рефлектометра. Для ограничения доступа внутрь рефлектометра произведено пломбирование методом нанесения пломбы на крепежный винт дверцы блока питания.
Общий вид рефлектометра с обозначением места нанесения заводского номера и схема пломбировки представлены на рисунке 1.
Нанесение знака поверки на рефлектометр не предусмотрено.
Место нанесения заводского номера
IHMSU _ " __________
|'5И»®2
sci |'Чни* luwnatkuO. С**
Схема пломбировки
Нмодване Иоил*
5аВ0О.2Й *(ИЦ>
Рисунок 1 - Общий вид рефлектометра спектрального HMS01 с оптическим блоком, схема пломбировки и место нанесения заводского номера
Управление процессом измерения в рефлектометре осуществляется с помощью предустановленного на персональном компьютере специализированного ПО «FilmTek SE», которое также служит для настройки рефлектометра, проведения измерений, включая анализ и обработку полученных данных, представленных в графическом и числовом виде.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Несанкционированный доступ к ПО исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя с помощью специального оборудования.
Уровень защиты ПО от преднамеренных и непреднамеренных изменений в соответствии с Р 50.2.077-2014 «средний».
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные (признаки) ПО
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | FilmTek SE |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже | 85.3.3 |
| Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | - |
| Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО | - |
Таблица 2 - Метрологические характеристики рефлектометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Диапазон измерений толщины покрытий, нм | от 2 до 4500 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне от 2 до 1000 нм включ., нм | ±1,5 |
| Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне св. 1000 до 4500 нм, % | ±1 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики рефлектометра
| Наименование характеристики | Значение |
| Параметры электрической сети: - напряжение переменного тока, В - частота, Гц | от 210 до 240 от 49 до 51 |
| Масса, кг | 408 |
| Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | 2360x1300x1770 |
| Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С - относительная влажность воздуха, %, не более - атмосферное давление, кПа | от +15 до +25 60 от 96 до 104 |
нанесён типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Таблица 4 - Комплектность средства измерений
| Наименование | Обозначение | Количество, шт./экз. |
| Рефлектометр спектральный | HMS01 | 1 |
| Программное обеспечение | FilmTek SE | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
приведены в главе 2 «Краткое руководство по оперированию HMS01» документа «Рефлектометр спектральный HMS01. Руководство по эксплуатации».
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий»
