| Номер в госреестре | 63646-16 |
| Наименование СИ | Интерферометр |
| Обозначение типа СИ | GPI XP/D |
| Изготовитель | "Zygo Corporation", США |
| Год регистрации | 2016 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
Интерферометр GPI XP/D (далее прибор) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей в научно-исследовательских институтах, оптическом приборостроении.
Прибор построен по схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в нем используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 150 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь закрепляют в специальную оправу, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок электромагнитного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости матричного приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Для автоматизации измерений на приборе используется специальный электронный блок управления, в котором реализован метод фазовых шагов для автоматической расшифровки интерферограмм. Анализ интерференционных картин и определение на его основе параметров формы контролируемой поверхности или отраженного от нее волнового фронта выполняется по специальной программе с помощью ПК.
Прибор оснащен программным обеспечением MetroPro версии v.8.2. Вычислительные алгоритмы MetroPro расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометра GPI XP/D
| Идентификационные данные (признаки) | Значение |
| Идентификационное наименование ПО | MetroPro |
| Номер версии (идентификационный номер) ПО | v.8.2 и выше |
| Цифровой идентификатор ПО | Код доступа |
Программное обеспечение является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является отсутствие возможности установки его на компьютер, к которому не подключен контроллер видео измерительной системы, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита программного обеспечения прибора соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 2 - Метрологические и технические характеристики интерферометра GPI XP/D
| Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм | от 0,06 до 2,0 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений | ±0,03 |
| отклонений от плоскостности, мкм | |
| Диапазон измеряемых диаметров, мм | от 50 до 150 |
| Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 | 3А |
| Длина волны лазера, не более, нм | 633 |
| Мощность, не более, мВт | 5 |
| Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, не более, Гц | 30 |
| Параметры электропитания Напряжение, В | от 230 до 240 вкл. |
| Частота, Гц | от 50 до 60 вкл. |
| Масса, не более, кг | 41 |
| Габаритные размеры, не более, мм - длина | 992 |
| - ширина | 308 |
| - высота | 308 |
| Условия эксплуатации: Нормальная область значения температуры, °С | 20±2 |
| Относительная влажность воздуха, не более, % | 95 |
наносится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а также на торец корпуса прибора методом наклейки.
Таблица 3 - Комплектность средств измерений
| Наименование | Кол-во | Примечание |
| Интерферометр GPI XP/D | 1 шт. | |
| Руководство по эксплуатации | 1 экз. | |
| Методика поверки | 1 экз |
осуществляется в соответствии с документом МП 63646-16 «Интерферометр GPI XP/D. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в мае 2015 г.
Основные средства поверки:
- мера отклонений от плоскостности 0 200 мм, (№ ГР 48279-11).
Знак поверки в виде оттиска клейма поверителя и голографической наклейки наносится на свидетельство о поверке.
содержатся в документе «Интерферометр GPI XP/D. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометру GPI XP/D
Техническая документация фирмы-производителя.
| Зарегистрировано поверок | 2 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 06.07.2025 |
