| Номер в госреестре | 51170-12 |
| Наименование СИ | Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона |
| Обозначение типа СИ | INM 300 DUV |
| Изготовитель | "Vistec Semiconductor Systems GmbH", Германия |
| Год регистрации | 2012 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV, (далее по тексту -микроскоп) предназначен для измерения линейных размеров микрорельефа твердотельных структур.
Принцип работы микроскопа основан на освещении объекта через объектив микроскопа излучением видимого или ультрафиолетового диапазона длин волн и проведением измерений структуры его поверхности в отраженном свете.
Оптическая часть микроскопа содержит канал освещения объекта и канал измерений. Канал измерений предназначен для визуального наблюдения (с помощью окуляра), а также для измерения и документирования с помощью цифровой видеокамеры или цифровой фотокамеры. Канал освещения предназначен для освещения объекта. Интенсивность освещения поверхности объекта контроля регулируется потенциометром. Изображение с цифровой фотокамеры вводится в ПЭВМ через USB - порт или через устройство цифрового ввода видеосигнала (УЦВВ) в режиме реального времени.
Оптическое изображение проецируется на видеокамере. С помощью программного обеспечения, учитывая масштабный коэффициент размера цифрового изображения к размеру реального объекта, определяется линейный размер твердотельных микроструктур.
В состав микроскопа входят персональный компьютер, программное обеспечение. В микроскопе реализованы следующие режимы оптической микроскопии:
- микроскопия в видимом диапазоне длин волн;
- микроскопия в режиме глубокого ультрафиолета.
Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV оснащен программным обеспечением High Performance Image Control.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
| Наименование ПО | Идентификац ионное наименование ПО | Номер версии (идентификацион ный номер) ПО | Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) | Алгоритм вычисления цифрового идентификато ра ПО |
| High Performance Image Control | HiPic 32 | 7.1.0 | D8220560DF13E1C6AE52DA AC03CE8EA9 | MD5 |
| ImageScope | ImageScope M | 1.0. 1 | E60FA5E92F13F275C5E2F452 3EF93BE4 | MD5 |
Изменение ПО возможно только с помощью специальных технических средств сервисными инженерами фирмы-изготовителя. Пользователь долступа к ПО не имеет.
ПО защищено USB-ключом.
Защита программного обеспечения микроскопа оптического ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV соответствует уровню «С» согласно МИ 3286-2010.
Метрологические и технические характеристики приведены в таблице 2. Таблица 2
| Наименование характеристики | Значение характеристики |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 5х, мкм | |
| по оси Х | 3 - 1290 |
| по оси Y | 3 - 969 |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 10х, мкм | |
| по оси Х | 2 - 645 |
| по оси Y | 2 - 494 |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 20х, мкм | |
| по оси Х | 2 - 323 |
| по оси Y | 2 - 242 |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 50х, мкм | |
| по оси Х | 0,2 - 130 |
| по оси Y | 0,2 - 97 |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х, мкм | |
| по оси Х | 0,5 - 43,7 |
| по оси Y | 0,5 - 32,8 |
| Диапазон измерений линейных размеров для объектива 150х DUV, мкм | |
| по оси Х | 0,1 - 28,4 |
| по оси Y | 0,1 - 22,7 |
| Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм для объектива 5х | ± 2 |
| для объектива 10х | ± 1 |
| для объектива 20х | ± 1 |
| для объектива 50х | ± 0,1 |
| для объектива 150х | ± 0,05 |
| для объектива 150х DUV | ± 0,03 |
| СКО измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм, не более | |
| для объектива 5х | 0,7 |
| для объектива 10х | 0,3 |
| для объектива 20х | 0,3 |
| для объектива 50х | 0,03 |
| для объектива 150х | 0,0012 |
| для объектива 150х DUV | 0,001 |
| Электропитание осуществляется от сети переменного тока | |
| с напряжением, В | 220 ± 22 |
| частотой, Гц | 50 ± 1 |
| Потребляемая мощность, Вт, не более | 600 |
| Г абаритные размеры микроскопа (ДХШ*В), мм, не более | 950x650x550 |
| Масса, кг, не более | 85 |
| Условия эксплуатации: | |
| Температура окружающей среды, 0С | 20 ± 5 |
| Максимальная относительная влажность воздуха при температуре 25 0С, | |
| % | 80 |
| Атмосферное давление, кПа | 101,3± 4 |
наносится на корпус микроскопа методом наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации методом печати.
Таблица 3
| Наименование | Количество, шт. |
| Микроскоп INM 300 DUV | 1 |
| Персональный компьютер | 1 |
| Монитор | 2 |
| Элементы контроля: клавиатура Vistec INM 300 DUV встроенные функциональные клавиши, трекбол | 1 |
| Комплект оптических элементов: объективы, призмы, оптические фильтры, светоделители | 1 |
| Упаковка | 1 |
| Руководство по эксплуатации | 1 |
| Методика поверки МП 62.Д4-12 | 1 |
осуществляется по документу: «Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Методика поверки МП 62.Д4-12», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИОФИ» 16 июля 2012 г.
Основные средства поверки:
1 Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К Основные метрологические характеристики:
Среднее значение шага 2,001 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,002 мкм.
2 Мера графитовая S106.
Основные метрологические характеристики:
Номинальное значение шага 0,463 мкм, предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры ± 0,020 мкм.
«Микроскоп оптический ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV. Руководство по эксплуатации», раздел 2.3 «Подготовка к работе» и 2.4 «Порядок работы».
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу оптическому ультрафиолетового диапазона INM 300 DUV
1 Техническая документация фирмы - изготовителя.
Выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям
