Для измерения энергетической освещенности при определении стабильности и воспроизводимости характеристик многослойных наноструктур, динамики характеристик непосредственно при формировании изделий в условиях вакуума in situ, динамических характеристик при деградации и разрушении многослойных наноструктур.
