Для измерения геометрических расстояний и размеров элементов тонкой субмикронной структуры твердотельных материалов. Применяется в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, металлургии, а так же в лабораториях промышленных предприятий, научно-исследовательских и учебных организациях.
