Государственный реестр средств измерений (ГРСИ)

Микроскоп растровый электронный SUPRA-25, 45266-10

Для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой электронной микроскопии. Область применения - впроизводственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".
Документы
Карточка СИ
Номер в госреестре 45266-10
Наименование СИ Микроскоп растровый электронный
Обозначение типа СИ SUPRA-25
Изготовитель "Carl Zeiss", Германия
Год регистрации 2010
МПИ (интервал между поверками) 6 месяцев
Описание типа скачать
Зарегистрировано поверок 4
Поверителей 1
Актуальность данных 24.01.2026
Номер в ГРСИ РФ:
45266-10
Производитель / заявитель:
"Carl Zeiss", Германия
Год регистрации:
2010
Похожие СИ
96338-25
96338-25
2025
Hunan Next Generation Instrumental Т&СTech. Co.,Ltd.
96393-25
96393-25
2025
ООО «СТА»
Срок действия реестра: 11.09.2030