| Номер в госреестре | 44768-10 |
| Наименование СИ | Система измерительная автоматизированная контроля монолитных интегральных схем |
| Обозначение типа СИ | АИС МИС |
| Изготовитель | ОАО «ЦНИИИА» |
| Год регистрации | 2010 |
| МПИ (интервал между поверками) | 1 год |
| Описание типа | скачать |
| Методика поверки | скачать |
