Для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления. Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ. Может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.
