Для анализа элементного состава микрообъемов различных материалов: металлов и сплавов, покрытий, геологических пород, порошков и т.д., может анализировать любой материал не разрушающийся в вакууме и выдерживающий температуру не менее 150 °С в металлургической промышленности, геологии, экологии,криминалистике, химической, электронной промышленности, а также научных исследований.
