| Номер в госреестре | 11332-88 |
| Наименование СИ | Пластины образцовые эллипсометрические |
| Обозначение типа СИ | ПС-5 |
| Изготовитель | АООТ "Загорский оптико-механический завод" (ЗОМЗ) |
| Год регистрации | 1988 |
| МПИ (интервал между поверками) | 5 лет |
| Описание типа | скачать |
| Зарегистрировано поверок | 27 |
| Поверителей | 1 |
| Актуальность данных | 22.10.2026 |
